洁净室的发展与现代工业、技术密切联系在一起。由于精密机械工业(如陀螺仪、微型轴承等加工)、半导体工业(如大规模集成电路生产)等对环境的要求,促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过,在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10%~15%,64为储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。
洁净室的范围可以从非常小到非常大。一方面,单个用户实验室可以按照几平方米的洁净室标准建造,另一方面,整个制造设施可以包含在工厂地板占地数千平方米的洁净室中。在大和小之间,还有模块化的洁净室。有人认为,他们降低了扩展技术的成本,并且不易受到灾难性故障的影响。
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