濮阳净化车间标准

净化车间的等级和含义
净化车间是对空间内空气中的微粒做到控制，所构造的特殊封闭性建筑。总体来说，净化车间也会对温湿度、气流运动模式、与震动噪音等环境因素做控制。净化车间对等级的不同，对一定空间内的微尘粒子容许量有一定规范，在国际标准中分为ISO-14644，ISO-14644的等级定义。这里所指的微粒尘埃是肉眼无法看见的灰尘及粒子，一般空气清净机无法完全清除之灰尘。净化车间一般分为电子、精密工业用（ICR）；及需控制微生物浓度等制药、食品产业用。
在JIS 标准中，净化车间清洁度，分8 个等级，通常清洁度是指空气的洁净等级，分为1到8 个阶段。在1 立方公尺的空气中，粒径0.1 微米的灰尘若是在10 个以下时为1；百个以下是100=102 是等级2；千个以下时是1000=103 等级3，以此类推。21 世纪，科技产业的发展，加速了产业结构的变革，净化车间设立的必要性也相对地提高。产品逐渐的小型化和精密化，尘埃和温湿的变化对产品的完成度同样造成较大的危害，导致品质下降，随着产品的高品质要求，环境无尘化的要求也越来越高。因此在净化车间中用防尘材料及产品都显得非常重要。净化车间属于人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路的级数的快速成长，也增加了对制造环境(净化车间)洁净度要求，在工业上即使使粒子之尺寸想小于0.1 微米.也可能阻碍产品的制作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断地增加，尘粒更*使芯片失效或可靠度下降。例如当金属尘粒落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。所以净化车间为集成电路制造必不能少的因素。

实现洁净室措施清洁度要求的两个必要条件？
一、气流组织：
洁净室中的气流组织与普通空调房间的气流组织不同，它需要首先将清洁的空气送到操作现场。 其功能是限制和减少工件的污染。为此，在清洁车间设计气流时应考虑这些原则：尽量减少涡流，避免将工作区域外的污染引入工作区域，尽量防止二次粉尘飞扬，以减少粉尘污染工件的机会，气流应尽可能均匀，风速应满足工艺和卫生要求，当气流流向回风口时，空气中的灰尘可以被有效地带走。
二，供气清洁度：
清理系统系统终过滤器通常使用高效过滤器或次高效过滤器，在这里每个清洁度水平似乎有两种类型的过滤器可供选择，无论是高性能还是低性能，具体取决于具体情况：当环境受到严重污染，或室内排气比例大，或洁净室时 特别重要的是需要很大的安全系数。
在任一种或两种情况下，选择更高类型的过滤器相反，可以选择性能较低的滤波器。对于需要控制0.1μm颗粒的洁净室，无论受控颗粒浓度如何，都应选择D级过滤器。

净化车间共有五部分组成：
1、隔间
净化车间隔间分为三大部分,更衣室,千级区和百级区,更衣室与千级区,千级区和百级区均设风淋室(airshower),净化车间与室外设有物品出入通道传递箱(passbox).当人员进入净化车间时,首先要经过风淋室,对人体所带的灰尘吹淋,减少人员带入净化车间的灰尘.传递箱则是对物品灰尘进行吹淋,达到落尘的效果。
2、风系统风系统流程图
系统采用的是全新风空调箱+FFU 系统：
<1>全新风空调箱结构
<2>FFU:(FANFILTERUNIT)即风机和过滤器
千级区过滤器采用HEPA,过滤效率99.997%,百级区过滤器采用ULPA,过滤效率99.9995%。
3、水系统水系统流程图
冰水系统分为一次侧和二次侧.
一次侧冰水水温7-12 度,供给空调箱和风机盘管,二次侧冰水12-17 度供给干盘管系统.一次侧冰水和二次冰水为两个不同的回路,之间由板式换热器连接.
板式换热器原理
干盘管:不结露的盘管,因净化车间温度在22 度,其温度12 度左右,故7 度冰水不能直接进入净化车间,所以进干盘管的冰水温度在12-14 度.
4、控制系统(DDC)温度:干盘管系统控制
湿度:空调箱调节通过感测的信号,控制三通阀开度来调节空调箱盘管进水量。
正压:空调箱调节,根据静压感测的信号,自动调节空调箱马达变频器的频率,从而调节进入室内的新风量。
5、其他系统
不只是空调系统,净化车间系统中还包括有真空,空压,氮气,纯水,废水,二氧化碳系统,制程排气系统,检测标准：
1、气流速度及其均匀度检测，这项检测是净化车间效果的其他各项检测的前提，这项检测的目的是为了明确单向流净化车间工作区的平均气流通度及其均匀性。
2、系统或房间的风量检测。
3、室内洁净度的检测。洁净度的检测是为了确定洁净环境可达到的空气洁净度级别，可采用粒子计数器检测。
4、自净时间的检测。通过确定自净时间，查明洁净室内部发生污染时恢复其原有洁净度的能力。
5、气流流型检测。
6、噪声的检测。
7、照度的检测。照度检测的目的是为了判明洁净室的照度水平和照度的均匀性。
8、振动的检测。振动检测的目的是为了判明净化车间各表明的振动幅度。
9、温、湿度的检测。温、湿度检测的目的是把温度、湿度调整到一定限度内的能力。其内容包括检测净化车间的送风温度，检测有代表性测点的空气温度，检测净化车间中心点的空气温度，检测敏感元件处的空气度，检测室内空气相对温度，检测回风温度。
10、总风量和新风量的检测。

认识净化车间照明灯的基本原理
净化车间的照明原理是提供可见度，它与空气供应系统和降低污染相协调的正确照明度，是净化车间设计结构中不可或缺的组成部分。净化车间的照明会根据室内的使用，等级的分类和天花板上空气供应的结构而发生改变，照明系统一定要提供良好的能见度，将污染控制把电磁场的产生与洁净度的设计考虑进去。
对于净化车间的构造来讲，照明灯具的成本不会**过总预算的1%，而照明的能源成本与净化车间的hvac以及制程设备的功率需要相比较可以说是很小的，因此净化车间的照明焦点便变成适当的照明度，与空气供应系统相互协调，同时对安装在该空间内特定的环境与制程的污染降低。很多净化车间的表面具有很高的反射性，大部分的天花板，墙面，地板表面均光鲜亮丽，尽管这样，材料颜色的选择仍在考察中，便于改善使用者的环境。在净化车间的设计结构中，照明系统使用常见的是荧光灯，因其能源效率高，使用寿命长，维护成本低，
经常使用到。荧光灯在紫外线光谱内产生一定能量，对于一些净化车间内的制程是有害的，过滤UV 可以使用灯罩遮蔽，但是这种遮蔽会转换成可见光至，虽然这种遮蔽仅能降低10%到20%照明度，但由于颜色的偏差，所察觉到的照明度看起来比较少。照明灯内需要安定器来来产生灯泡所需要的启动电压与操作电流，使用在安定器的技术为电磁式和电子式。
等某一空间需要过滤器与照明时，可以将嵌入式灯具与hepa空气过滤器合并在一起，这种器具经常使用在小型且已预制好的净化车间内，这种器具为嵌入式，有开放的**部和一个替代灯罩的巧克力制百叶，同时用于作为照明照明灯具与空气输送模块。为了防止天花板上照明与空气过滤器空间需求的冲突，同时作为泪滴型灯具的变通方式，制造业已发展出模块式的天花板系统，具有内建在格架通道内的整合照明，这些系统允许层流气流不受到影响。污染控制是净化车间设计结构的主要目标，任何带有进入净化车间的潜在污染源要严格清除使其控制在一定范围内，照明灯具要进行污染评估检测。