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水质标准所规定的各项指标应该根据电子(微电子)元器件(或材料)的生产工艺而定(如普遍认为造成电路性能破坏的颗粒物质的尺寸为其线宽的1/5-1/10)，但由于微电子技术的复杂性和影响产品质量的因素繁多，至今尚无一份由工艺试验得到的适用于某种电路生产的完整的水质标准。

去离子水,一般采用的是反渗透+离子交换混床工艺制得的纯水,一般电导率可以达到0.056us/cm,很容易制取高纯度的水,成本比较低,也是目前普遍制取纯水的工艺.但是,在问题方面,如果不加处理,不如蒸馏水好.这种工艺制得的纯水,微生物含量比较有**.如果离子交换工艺做的去离子水,后端采用了杀菌措施,则去离子水的纯度会更高一些,而且成本更低.