水碧清环保：宁夏SDG酸性吸附剂--厂家价格

新闻：宁夏SDG酸性吸附剂--厂家价格

半导体制作可能排放的特殊毒性气体种类众多，像薄膜成长制程、化学气相沉积(CVD)、干蚀刻(dry etching)、扩散(diffusion)、离子植入(ion implantation)与磊晶(epitaxy)制程等等所排放的AsH3、PH3、SiH4、B2H6、SiH2Cl2，CL2，HF，PH3，NH3,HBr，F2,HCL,COS等等，都是含有特殊毒性的危险气体。针对此类的废气处理需把握各单元所排放的废气特性，串联多种不同型式的废气处理设备和吸附剂。目前常应用于处理半导体制程中特殊毒性气体处理的处理技术，一般可以分为四种，干式吸收或吸附法、湿式洗涤法等。其中各种吸附剂的配合使用为目前半导体行业的主流处理技术。